温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

为了辐照表面而提出一种具有底座（8）的辐射器（1），其中底座具有至少一个通气口（12）以用于将过程气体输送到与辐射器容器（2、3、5）相邻的空间区域中。由此，能够放弃单独的气体输送装置。可选地，辐射器容器（2、3、5）也能够具有用于输送和/...
该专利属于欧司朗股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧司朗股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。