温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于静电吸盘的多频率射频滤波器，所述静电吸盘安装在一个等离子处理装置中用于固定待处理基片，所述等离子处理装置包括具有多个射频频率的射频电源连接到等离子发生装置，所述静电夹盘包括一个加热电极，一个射频滤波器连接在所述静电夹盘加热...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。