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本发明公开了一种基于原子力显微镜探针力曲线的材料物理特性测量系统及方法。该方法利用高速、高精度的数字采集卡与数字控制器，实现对探针力曲线测试过程宽频带，高分辨率测量。从而实现对探针力曲线中峰值力的精确控制与测量。在获取力曲线的基础上，利用H...
该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。

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