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研磨垫、使用该研磨垫的研磨装置及研磨方法。一种研磨垫，包括，第一研磨区，设置于研磨垫边缘，用于研磨晶圆边缘；第二研磨区，所述第二研磨区至少能容纳整个晶圆表面，用于研磨整个晶圆；其中，所述研磨垫的第一研磨区与第二研磨区之间具有沟槽。一种使用该...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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