下载用于光学加工的真空自励研磨抛光工具的技术资料

文档序号:887792

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本实用新型属于光学加工技术领域,涉及对研磨抛光工具的一种改进。它由抛光体1、基座2、液体通孔3、管接头4、真空泵5、球头6、驱动杆7、供液泵8、管接头9、液体通孔10、正压微孔11、正压工作室12、抛光工作面13、负压工作室14和负压微孔1...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械研究所授权不得商用。

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