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本实用新型公开了一种能提高石英坩埚投料量的环形卡套式装置,它选用高纯氮化硅材料制成两种部件,每种4个,共8个,这些部件组合起来构成环形卡套式装置,可直接套在420mm石英坩埚顶部,高温下不宜变形和开裂,结构简单,操作方便。本装置可重复使用,...该专利属于北京京仪集团涿鹿光伏材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京仪集团涿鹿光伏材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种能提高石英坩埚投料量的环形卡套式装置,它选用高纯氮化硅材料制成两种部件,每种4个,共8个,这些部件组合起来构成环形卡套式装置,可直接套在420mm石英坩埚顶部,高温下不宜变形和开裂,结构简单,操作方便。本装置可重复使用,...