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一种镀膜用阴极磁棒装置制造方法及图纸
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下载一种镀膜用阴极磁棒装置的技术资料
文档序号:8871869
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本实用新型涉及到一种磁控镀膜装置,尤其涉及到一种磁控溅射镀膜阴极磁棒装置,更涉及到一种防水、磁极均匀分布的磁控溅射镀膜阴极磁棒装置,本实用新型采用的技术方案是包括磁芯轴装置、以及设置在磁芯轴装置圆周上的磁钢座装置、设置在磁钢座装置上的磁钢装...
该专利属于上海子创镀膜技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海子创镀膜技术有限公司授权不得商用。
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