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用于生长碳化硅单晶的方法和装置制造方法及图纸
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下载用于生长碳化硅单晶的方法和装置的技术资料
文档序号:8864847
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本发明提供了利用溶液法制造碳化硅单晶的方法,包括将用于生长碳化硅的晶种基体与包括至少一种添加金属的Si-C合金溶液接触,并在生长碳化硅的晶种上生长碳化硅单晶,所述方法包括,随着反应的进行,当Si与添加金属的摩尔比低于最初设定的值时,将硅原料...
该专利属于SK新技术株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SK新技术株式会社授权不得商用。
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