下载强磁性材料溅射靶的技术资料

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一种强磁性材料溅射靶,其为包含Cr为20摩尔%以下、Pt为5摩尔%以上、余量为Co的组成的金属的溅射靶,其特征在于,该靶具有:金属基质(A)、以及在所述(A)中的含有30摩尔%以上Ru的Co-Ru合金相(B)和与所述相(B)不同的Co或以C...
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