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本发明涉及一种包含在干膜抗蚀剂（光阻）中的感光树脂组合物，具体而言，具有对显影液的耐性而提高了细线密着性及分辨率，并且将感光树脂组合物进行光固化而形成的固化膜的剥离特性优异，而且，使用激光直接曝光机时能够用少量的曝光能量就能进行曝光，对于曝...
该专利属于可隆工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过可隆工业株式会社授权不得商用。

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