下载一种托盘和包含该托盘的反应腔的技术资料

文档序号:8859098

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种托盘。采用若干个具有内凹的边的岛状结构形成凹槽,用来固定和定位基板,所述内凹边上具有内凹的凹陷,以减少岛状结构与基板边缘的接触面积,保障基板边缘与岛状结构均匀接触,从而减少基板的边缘与岛状结构因为接触热传导获得的热量,提高基...
该专利属于光垒光电科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光垒光电科技(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。