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一种用于转盘CVD反应器的晶片载具（30）包括陶瓷例如碳化硅形成的一体式托板（32），在该托板的上游表面（34）限定了晶片保持特征例如容槽（38）；还包括毂（40），其在托板（32）的中央区（44）中以可拆下的方式安装在托板（32）上。毂（...
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