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本公开提供一种激光退火装置。所述激光退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡激光...
该专利属于AP系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。

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