下载一种薄片型贵金属靶的加工结构的技术资料

文档序号:8850508

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本实用新型公开了属于薄膜工艺中靶体加工装置范围的一种薄片型贵金属靶的加工结构。该加工结构是在靶材和支撑板之间涂覆一层粘接剂。本实用新型可以方便快捷的固定薄片型贵金属靶材,不会对贵金属的有任何的划伤,挤压变形。同时可以进行常规的机械加工的一种...
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