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本实用新型提供了一种硅片缺陷检测装置，它包括硅片光致发光激发机构、红外成像机构和计算机；硅片光致发光激发机构设置在硅片的正下方激发硅片发光，红外成像机构设置在硅片的正上方检测硅片的发光信号并将其传输到计算机，计算机通过安装在其内的图像采集、...
该专利属于上海太阳能工程技术研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海太阳能工程技术研究中心有限公司授权不得商用。

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