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三端复合介质栅光敏探测器及其探测方法技术
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文档序号:8835580
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三端复合介质栅光敏探测器,包括P型半导体衬底(1)、在所述衬底正上方依次设有底层绝缘介质(6),光电子存储层(5),顶层绝缘介质(4),控制栅(3);P型半导体衬底中靠近叠层介质的任一侧通过离子注入掺杂形成高浓度N+型漏极(2);所述光电子...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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