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制造光电转换装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:8835489
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本发明涉及制造光电转换装置的方法。在一种制造具有像素区和外围电路区的光电转换装置的方法中,通过使得外围电路区中的MOS晶体管的栅电极或者扩散层的表面与高熔点金属进行反应形成半导体化合物层,然后在形成半导体化合物层的步骤以后在像素区和外围电路...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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