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翘曲片工装、使用方法及其交接片装置制造方法及图纸
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文档序号:8835358
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一种翘曲片工装,包括:载片衬底,用以承载翘曲片基底;紧固件,间隔设置在所述载片衬底外围边沿处,所述紧固件朝向所述载片衬底中心方向的一侧连接有一紧固扣,所述紧固扣与所述载片衬底表面具有间隙,用以容置所述翘曲片。本发明通过翘曲片工装新型的结构设...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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