下载凸块制造工艺及其结构的技术资料

文档序号:8835336

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本发明有关一种凸块制造工艺及其结构。其中的凸块制造工艺其包含提供一硅基板,该硅基板具有多个焊垫;形成一含钛金属层于该硅基板,该含钛金属层具有多个第一区及第二区;形成一光阻层于该含钛金属层;图案化该光阻层以形成多个开槽;形成多个凸块底部包覆层...
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