下载用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置及光刻设备的技术资料

文档序号:8833593

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置,包括:主支架(1)、Y方向支架(19)、Y方向刀口驱动装置(b1)、X方向支架(11a)、X方向刀口驱动装置(b2),该X方向刀口驱动装置设置在该X方向支架上,该X方向支架设置在该主支架上...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。