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本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法，其特征在于，用两块样品作腐蚀试验，由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率，然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度，使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来，最后使用共聚焦显微镜...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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