下载不打滑的抛光头背衬膜的技术资料

文档序号:883203

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一种能防止相对于背衬板(150)打滑的抛光头背衬膜(140)。在一个实施例中,提供了一种抛光头背衬膜/背衬板组件(180)。该抛光头背衬膜/背衬板组件(180)包括具有穿孔图形(148)的背衬膜(140)和从膜的一个表面伸出的固定销(144...
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