温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于平面磨削主动控制的新型数控纳米级微定位工作平台。三自由度纳米级微定位工作台，主要由三个可以沿轴向发生位移变化的压电陶瓷驱动器以及三个圆形凹槽弹性铰链等构成，每个驱动器的上部装有球形接头并与弹性铰链形成赫兹接触。弹性铰链、弹...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。