温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基片保持机构，包括：　　　　安装凸缘；　　　　固定在所述安装凸缘上的支承件；　　　　固定在所述安装凸缘上并且布置在所述支承件外周的限位环；　　　　其中，将要被抛光的基片被保持在由所述限位环包围着的所述支承件的下侧，所述基片被推压在抛光面...
该专利属于株式会社荏原制作所、株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所、株式会社东芝授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。