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超声波转换器以及使用其的超声波诊断装置制造方法及图纸
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文档序号:8806394
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本发明提供一种电容检测型超声波转换器(C?M?U?T),其实现高发送声压和高接收灵敏度,且使长期驱动下的可靠性提高。其具备:下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部...
该专利属于株式会社日立医疗器械所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立医疗器械授权不得商用。
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