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本发明的目的是提供一种能够检查在板材的表面的侧端部附近的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的板材检查方法以及板材检查装置。本发明从板材W的表面侧照射反射用的照明光，并且从板材W的背面侧照射背光用的照明光，并且利用摄像部4对包含板材W的表面和比...
该专利属于东洋钢钣株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东洋钢钣株式会社授权不得商用。

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