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纳米结构体器件和用于制造纳米结构体的方法技术
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文档序号:8805109
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一种用于在基板(102)上制造多个纳米结构体(101)的方法。所述方法包括以下步骤:在基板(102)的上表面上沉积底层(103),所述底层(103)包含具有第一平均粒度的晶粒;在所述底层(103)的上表面上沉积催化剂层(104),所述催化剂...
该专利属于斯莫特克有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯莫特克有限公司授权不得商用。
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