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将材料沉积在基板上的方法包括由热化气体注射器内的源气体形成前体气体和副产物。副产物可以与液态试剂反应以形成另外的前体气体，其可由热化气体注射器注射至反应室中。用于将气体注入沉积系统的反应室中的热化气体注射器可以包括入口、热化导管、被构造为其...
该专利属于索泰克公司所有，仅供学习研究参考，未经过索泰克公司授权不得商用。

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