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本发明描述了具有多模态孔径分布的抛光垫。还描述了制作具有多模态孔径分布的抛光垫的方法。在一示例中，一种用于抛光半导体衬底的抛光垫包括均质抛光主体。该均质抛光主体包括热固性聚氨酯材料和设置在热固性聚氨酯材料中的多个封闭单元孔。多个封闭单元孔具...
该专利属于内克斯普拉纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过内克斯普拉纳公司授权不得商用。

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