下载一种多晶硅片制绒清洗工艺方法的技术资料

文档序号:8802220

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本发明公开了一种多晶硅片的制绒清洗工艺,包括:步骤1.首先将硅片放在HF和HNO3的混合溶液中浸泡;步骤2.将酸腐蚀后的硅片放在纯水中进行清洗;步骤3.将硅片放入碱性溶液中进行碱腐蚀处理,该碱性溶液中加入制绒添加剂,对硅片进行二次制绒;步骤...
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