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本发明涉及一种高纯钽靶材的生产方法，其包括（1）将大小为5~10mm*5~10mm的钽块置于氢化炉中进行吸氢；（2）将吸氢完毕的钽破碎成-200目的粉末，置于钢包套中，按一定速率和阶段进行升温和抽气，之后将钢包套置于热等静压机中进行烧结，烧...
该专利属于昆山海普电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山海普电子材料有限公司授权不得商用。

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