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本发明公开了一种镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的制造方法，依次包括：将蓝宝石作为衬底放置到具有无水乙醇的超声波振荡器中进行清洗，去除衬底表面的油脂，再将其放置到具有去离子水的超声波振荡器中进行清洗，去除残余的无水乙醇；将纯度为99.99％的氧化锌...
该专利属于溧阳华晶电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过溧阳华晶电子材料有限公司授权不得商用。

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