温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法，包括：提供硅基底，在硅基底上热氧化生长二氧化硅膜，在二氧化硅膜上形成热电堆区域和红外吸收区。热电堆区域上靠近红外吸收区的一端为热结区，远离红外吸收区的另一端为冷结区。在热电堆结...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有，仅供学习研究参考，未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。