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本发明公开了一种特种气体发生装置，两路输入气体分别经进气管路流经质量流量计后，再经第一三通阀汇合成混合气体，该混合气体经第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体，两支路气体中的一路气体经流量计后，由出气管路输出一定浓度和流量的待配置气体；两支...该专利属于深圳供电局有限公司;河南省日立信股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳供电局有限公司;河南省日立信股份有限公司授权不得商用。