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本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。所述烘烤炉包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。烤炉外套1由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，石墨电阻加热棒2分8组通过绝缘陶瓷件4...
该专利属于台山市华兴光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台山市华兴光电科技有限公司授权不得商用。

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