下载一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备的技术资料

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本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备。该设备由水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨板上开有孔,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘上...
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