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本实用新型为超精密加工和测量领域中的共基面二维超精密工作台，其相互垂直的Ｘ、Ｙ导轨以精密平板为共同基面，从原理上比现有的二维工作台减少误差四分之一，导轨面精加工的工艺性好，容易提高加工精度，适用于电子束曝光机等微电子技术领域中的超精密加工和...
该专利属于李鹏生;于英满所有，仅供学习研究参考，未经过李鹏生;于英满授权不得商用。

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