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本发明公开一种可以提高测量精度的三维形状测量装置及测量方法。三维形状测量装置包含：投影部，产生并照射光栅图案光；X-Y轴移动工作台，移动测量对象；光束分离部，分离光栅图像或者照明图像并使其透过；第一圆型照明部，其产生的光照射到测量对象，以使...
该专利属于株式会社高永科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社高永科技授权不得商用。

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