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一种晶圆研磨定位环，包括：一环体，由具有极佳承载性、耐磨性及耐腐蚀性的晶状塑胶一体成形，其内径与所套合并带动同轴旋转的待研磨晶圆的外径相配合；环体周壁顶缘设有同体适当宽度与高度的环形凸缘，凸缘上设有若干等距离环形排列的凹孔，复数个螺护套与凹...
该专利属于陈水源;陈水生;陈添丁所有，仅供学习研究参考，未经过陈水源;陈水生;陈添丁授权不得商用。

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