下载气体轴承主轴以及用于气体轴承主轴的气体轴承组件的技术资料

文档序号:8762940

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一种用于气体轴承主轴的气体轴承组件。所述组件包括一个罩部分(11)和一个内部径向轴承部分(10),所述内部径向轴承部分(10)布置在罩部分内且相对于罩部分弹性地安装。内部径向轴承部分包括一个内部壳轴承部分(12)和一个中间套筒部分(14),...
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