下载阳极氧化装置、具有该装置的阳极氧化系统及半导体晶片的技术资料

文档序号:8761550

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一种阳极氧化装置,将基板浸渍在电解质溶液中来进行阳极氧化反应,具有:存积槽,其存积电解质溶液,保持部,其能够与各基板的周面以液密的状态接触并保持多个基板,移动机构,其使所述保持部在位于所述存积槽的外部的交接位置和位于所述存积槽的内部的处理位...
该专利属于大日本网屏制造株式会社;速力斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社;速力斯公司授权不得商用。

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