下载高温复合缓蚀剂及其制备方法的技术资料

文档序号:8761512

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本发明公开一种高温复合缓蚀剂及其制备方法,由以下重量百分比的各组分组成:亚磷酸三丁酯34-40%、磷酸酯8-15%、异丙醇5-10%、硫脲5-10%、苯胺1-5%、苯乙酮4-8%、聚硅氧烷0.5-3%,余量为水。本发明利用将亚磷酸三丁酯、磷...
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