下载快速加热处理系统及其硫化方法的技术资料

文档序号:8761453

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本发明公开了一种快速加热处理系统,包括快速加热处理炉、背电极基板及遮盖。背电极基板设置在快速加热处理炉的反应室内且形成有前趋物层及硒物质,硒物质形成在前趋物层上。遮盖设置在对应背电极基板的硒物质的位置上且形成有与硒物质彼此相对的固态硫。固态...
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