下载一种真空镀膜的制备方法的技术资料

文档序号:8761442

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本发明涉及材料表面处理技术领域,尤其涉及一种真空镀膜的制备方法。它包括以下步骤:a.高压离子清洗活化:工件放入真空室,抽真空,当真空室的压力为3~20Pa时,停止抽真空,启动高压变压器,当高压变压器的输出电压2500~4000V,电流1~6...
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