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本发明涉及三氯氢硅全热耦合集成多效精馏生产装置以及工艺方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅，需要经过多塔的分离，耗费大量的能量。而采用全热耦合集成多效精馏生产装置，在操作压力不同的全热耦合精馏塔之间设置冷凝再沸器，不但可以实现轻重杂质的完全脱...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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