下载石英坩埚侧壁自动送料装置的技术资料

文档序号:8758384

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本发明公开了一种石英坩埚侧壁自动送料装置,包括倾斜装置、安装在倾斜装置上的旋转装置以及设置在旋转装置上方的石英坩埚模具和固定安装在旋转装置上的定位支架,所述定位支架上安装有无杆气缸,所述无杆气缸的底部安装定位支架,该定位支架与石英坩埚底部的...
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