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本发明公开了一种可摇动式包网挡板,其中通过设置铰链将外侧周部包有不锈钢网的第一板体和第二板体转动地连接起来,当该L型包网挡板在真空腔室中使用一段时间后,磁控溅射物附着在不锈钢网上形成的积渣达到一定值,这时通过传动部件传递驱动力使得第一板体与...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种可摇动式包网挡板,其中通过设置铰链将外侧周部包有不锈钢网的第一板体和第二板体转动地连接起来,当该L型包网挡板在真空腔室中使用一段时间后,磁控溅射物附着在不锈钢网上形成的积渣达到一定值,这时通过传动部件传递驱动力使得第一板体与...