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一种高通量半导体加工应用的体系结构。包括：蜂窝形结构，高效电流流通管，其特征是：采用了仿生物学原理通过蜂窝式的结构构造，高效电流流通管被安装于蜂窝形结构内。蜂窝式结构的优势在于结构稳固且美观，同时具有高通量的实用性，大大提高了工作效率，并且...
该专利属于宋坡玲所有，仅供学习研究参考，未经过宋坡玲授权不得商用。

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