温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种能够制造表面粗糙度小的电介质薄膜的薄膜制造方法以及薄膜制造装置。本发明所涉及的薄膜制造方法包括：将混合气体供给到腔室(51)内的加热的基板S，所述混合气体包括作为具有钙钛矿型结晶的电介质薄膜的原料的金属原料气体和与所述金属原...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。