下载成像系统与扫描方法的技术资料

文档序号:8734465

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一种成像系统与扫描方法,该成像系统包括:一检测单元,用以感测一目标区域的一辐射能;以及一扫描单元,用以将辐射能引导至检测单元,其中在一扫描周期内,扫描单元在一等速度之下,扫描目标区域N次,使得目标区域内的每一像素被扫描单元扫描N次,以便检测...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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